懸臂式真空泵是一種常用于半導體、光刻、冶金、太陽能及其他工業領域的真空設備,其具有流量大,抽空能力強,結構緊湊等優點,因此廣泛受到市場的青睞。
小型緊湊
懸臂式真空泵采用雙環結構,緊湊型設計的泵體,減少了泵體的直徑和長度,從而節省了空間。
高效節能
由于懸臂結構的推出,大大減少了泵體的體積,與普通渦輪真空泵相比,其抽氣能力有了較大的提高。而其質量輕、能耗低的特點,也省去了用戶的大量運營成本。
防污染懸臂式真空泵內部防止回流,可以適用于100%蒸發的加工環境。
抗腐蝕
懸臂式真空泵既可以用于干式抽真空,也可以用于濕式抽真空。
懸臂式真空泵廣泛應用于半導體、液晶面板、LED、太陽能、金屬冶金、化學制藥等領域中的真空抽取和蒸發。
使用前注意檢查防護缸,防止進口布置不當。
泵的使用溫度必須在規定范圍內,防止引起泵的過熱或冷卻水結冰。
請勿在泵震動的時候進行運作,避免對泵結構的損壞。
使用過程中,應定期檢修,注射潤滑油。
注意泵體上加的密封圈的選擇,配套正確的密封圈,防止泵體漏氣。
定期檢查泵體連接的閥門,確保管道暢通、也防止泵密封圈因管某些防護缸的局部區域防塵過度壓縮而引起泄漏。
定期更換泵內B的球墨鑄鐵端蓋,并注入潤滑油。
在排氣管上根據泵的大小和使用情況增加冷卻水裝置。
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